18:15 〜 18:30 △ [15p-C302-16] 表面パッシベーション酸化膜の窒化処理により生じるメサ型4H-SiC pn ダイオードの順方向リーク電流の起源 〇浅田 聡志1、木本 恒暢1、須田 淳1 (1.京大院工)