09:45 〜 10:00 [16a-A24-4] 高温製膜アモルファスシリコンにおける膜成長機構および表面欠陥低減 〇(M1)久保田 晴香1、傍島 靖1、松田 彰久1、岡本 博明1 (1.阪大院基礎工)