16:45 〜 17:00
〇居村 史人1,2、井上 道弘1、猿渡 新水1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
居村 史人
発表者・著者、共著者
2016年9月16日(金) 13:45 〜 17:00 B10 (展示控室1)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年9月16日(金) 13:45 〜 17:00 B10 (展示控室1)
16:45 〜 17:00
〇居村 史人1,2、井上 道弘1、猿渡 新水1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)