15:45 〜 16:00
〇三浦 典子1、居村 史人1,2、山田 武史1,3、相澤 洸1,3、池田 伸一1,2、石田 夕起1,2、三ヶ原 孝則1,2、大西 康弘1,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.米倉製作所)
三浦 典子
発表者・著者、共著者
2016年9月16日(金) 13:45 〜 17:00 B10 (展示控室1)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年9月16日(金) 13:45 〜 17:00 B10 (展示控室1)
15:45 〜 16:00
〇三浦 典子1、居村 史人1,2、山田 武史1,3、相澤 洸1,3、池田 伸一1,2、石田 夕起1,2、三ヶ原 孝則1,2、大西 康弘1,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.米倉製作所)