13:30 〜 15:30 [15p-P7-1] AlGaN表面特性への酸素プラズマ照射効果 〇新部 正人1、川上 烈生2、中野 由崇3、田中 良1、荒木 佑馬1、東 知里2、向井 孝志4 (1.兵庫県大高度研、2.徳島大院理工、3.中部大工、4.日亜化学) PDF ダウンロード スケジュール いいね! コメント ( )
13:30 〜 15:30 [15p-P7-2] プラズマエッチング装置におけるチャンバー内壁上の堆積膜の監視 〇笠嶋 悠司1、上杉 文彦1 (1.産総研) PDF ダウンロード スケジュール いいね! コメント ( )