[13a-A23-1~7] 6.1 Ferroelectric thin films

[13a-A23-3] Fabrication and Evaluation of Piezoelectric Film by Compact Sputtering System

〇Isao Kimura¹, Hiroki Kobayashi¹, Tatsuro Tsuyuki¹, Takehito Jimbo¹, Koukou Suu¹, Hiroshi Sugita², Kenji Watanabe² (1.ULVAC, Inc., 2.ULVAC Kyusyu Corp.)

Keywords:MEMS, Piezoelectric film, Sputtering

機能性材料薄膜を用いたMEMS/センサーの開発が盛んに行われる中、我々は機能性材料膜の開発効率化に貢献するため、低コストで高い実験自由度を持つ小型スパッタリング装置を開発している。本発表では機能性材料薄膜としてPb(Zr.Ti)O₃(PZT)圧電膜を選択、RFスパッタリング法を用いて成膜し、各種膜質評価を行ったので報告する。