[13a-A23-1~7] 6.1 強誘電体薄膜

[13a-A23-4] 圧電MEMS向けドライエッチングプロセスの開発

〇山本 直志¹、小林 宏樹¹、神保 武人¹、上村 隆一郎¹ (1.アルバック半電研)

キーワード：エッチング、圧電