[13a-A25-1~11] 7.4 量子ビーム界面構造計測

[13a-A25-4] Ｘ線回折格子干渉法による100ナノメートル以下の表面微小構造解析に向けて

〇矢代 航^1,2、加藤 宏祐³、池田 進⁴、和田 恭雄⁵、鈴木 芳生⁶、竹内 晃久⁶ (1.東北大多元研、2.JST, ERATO、3.東北大院工、4.東北大原子分子、5.慶大理工、6.JASRI)

キーワード：X線イメージング、回折格子、小角Ｘ線散乱

我々はＸ線反射率法の配置に一枚の位相型回折格子を付加することにより、Ｘ線反射率に加えて、面内極小角散乱の実空間分布も同時に取得する方法を開発した。これにより今日広く用いられているＸ線反射率法に新たな展開の道が開けた。この方法は、Ｘ線位相イメージング法の一つとして近年注目されているＸ線回折格子干渉法を発展させたものであり、エネルギーバンド幅の広い低輝度Ｘ線源からの大面積ビームの利用も可能であることから、様々な波及効果が期待される。