[13a-B9-1~11] 8.4 プラズマエッチング

[13a-B9-11] 表面反応層の生成と熱脱離を用いたTiNの原子層レベルエッチング

〇篠田 和典¹、三好 信哉¹、小林 浩之¹、栗原 優¹、酒井 哲²、伊澤 勝²、石川 健治³、堀 勝³ (1.日立研開、2.日立ハイテク、3.名大)

キーワード：エッチング、窒化チタン、原子層

TiNの原子層レベルエッチングを検討した。CF系プラズマにより，TiN表面にアンモニウム塩からなる反応層が生成し，真空加熱により反応層が消失することを，X線光電子分光法により確認した。また，プラズマ照射と真空加熱のサイクルを繰り返したところ，TiNが0.7 nmずつエッチングされること，1サイクルのエッチング量がプラズマ照射時間に依存しないことを確認し，TiNの原子層レベルエッチングを実証した。