2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[13a-B9-1~11] 8.4 プラズマエッチング

2016年9月13日(火) 09:00 〜 11:45 B9 (展示ホール内)

木下 啓蔵(PETRA)

09:15 〜 09:30

[13a-B9-2] DCシンクロパルスプラズマを用いた最先端絶縁膜エッチングプロセスにおける電子の電極間密度分布およびアフターグローでの挙動

植山 稔正1、岩田 学2、福永 祐介1、堤 隆嘉1、竹田 圭吾1、近藤 博基1、石川 健治1、関根 誠1、大矢 欣伸2、堀 勝1、菅井 秀郎3 (1.名大院工、2.東京エレクトロン宮城、3.中部大学)

キーワード:エッチング、プラズマ、計測