[13a-B9-1~11] 8.4 プラズマエッチング

[13a-B9-6] Siトレンチ加工におけるプラズマダメージ分布の評価

〇久保井 宗一¹、山華 雅司¹、石川 諭¹ (1.東芝生産技術センター)

キーワード：トレンチ、プラズマ、ダメージ

Siの結晶欠陥から発生する暗電流を測定することで，Siトレンチ加工におけるプラズマダメージの分布を評価した．