PDF ダウンロード スケジュール 20 いいね! 0 コメント (0) 10:15 〜 10:30 [13a-B9-6] Siトレンチ加工におけるプラズマダメージ分布の評価 〇久保井 宗一1、山華 雅司1、石川 諭1 (1.東芝生産技術センター) キーワード:トレンチ、プラズマ、ダメージ Siの結晶欠陥から発生する暗電流を測定することで,Siトレンチ加工におけるプラズマダメージの分布を評価した.