Evaluation of Projection Exposure System Using High-Intensity Light Emitting Diodes and Squared Optical Fibers

Yuta Suzuki; Jun Watanabe; Jun-ya Iwasaki; Toshiyuki Horiuchi

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Oral presentation

7 Beam Technology and Nanofabrication » 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

[13a-D61-1~12] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

Tue. Sep 13, 2016 9:00 AM - 12:15 PM D61 (Bandaijima Bldg.)

Toshiyuki Horiuchi(Tokyo Denki Univ.), Yoshihiko Hirai(Osaka Pref. Univ.), Jun Taniguchi(Tokyo Univ. of Sci.), Hiroaki Oizumi(GIGAPHOTON)

9:15 AM - 9:30 AM

[13a-D61-2] Evaluation of Projection Exposure System Using High-Intensity Light Emitting Diodes and Squared Optical Fibers

〇Yuta Suzuki¹, Jun Watanabe¹, Jun-ya Iwasaki¹, Toshiyuki Horiuchi¹ (1.Tokyo Denki Univ.)

Keywords:lithography, light emitting diode, optical fiber

先行研究において中心波長405nmの発光ダイオード(LED)を光源とし、先端を0.5mm角の正方形状に成型したプラスチック光ファイバ10本を一列に並べたアレイを製作できることを示した。本報では光源を高強度LEDに変更し、新たに製作した10×10ファイバマトリクスの中央部の一本にLED光を入射させて露光実験を行い、露光時間を大幅に短縮できる見通しを明らかにした。