9:15 AM - 9:30 AM
[13a-D61-2] Evaluation of Projection Exposure System Using High-Intensity Light Emitting Diodes and Squared Optical Fibers
Keywords:lithography, light emitting diode, optical fiber
先行研究において中心波長405nmの発光ダイオード(LED)を光源とし、先端を0.5mm角の正方形状に成型したプラスチック光ファイバ10本を一列に並べたアレイを製作できることを示した。本報では光源を高強度LEDに変更し、新たに製作した10×10ファイバマトリクスの中央部の一本にLED光を入射させて露光実験を行い、露光時間を大幅に短縮できる見通しを明らかにした。