[13a-D61-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[13a-D61-2] 高強度発光ダイオードと正方形光ファイバを用いた投影露光装置の性能評価

〇鈴木 佑汰¹、渡辺 潤¹、岩崎 順哉¹、堀内 敏行¹ (1.東京電機大院工)

キーワード：リソグラフィ、発光ダイオード、光ファイバ

先行研究において中心波長405nmの発光ダイオード(LED)を光源とし、先端を0.5mm角の正方形状に成型したプラスチック光ファイバ10本を一列に並べたアレイを製作できることを示した。本報では光源を高強度LEDに変更し、新たに製作した10×10ファイバマトリクスの中央部の一本にLED光を入射させて露光実験を行い、露光時間を大幅に短縮できる見通しを明らかにした。