[13a-D61-1~12] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

△ [13a-D61-7] Self-assembled 2D nanogap arrays by magnetic assembly

〇Shoya Takidani¹, Kanna Aoki¹, Minoru Fujii¹ (1.Kobe Univ.)

Keywords:microfabrication technology, magnetic assembly, gap structure

本研究では、汎用的な微細加工技術であるフォトリソグラフィと自己組織化法の一つである磁場アセンブリ法を組み合わせた新しいナノ微細加工技術を提案する。この方法の利点は、フォトリソグラフィ法で形成したマイクロスケールパターンを、一括してより複雑なナノパターンに修飾できる点である。