[13p-A22-1~5] 酸化物エレクトロニクスの未来展望を描く

[13p-A22-3] ローパワーマイコン向けTaO_x ReRAMの開発

〇魏 志強¹ (1.パナソニック)

キーワード：マイコン、抵抗変化メモリ

TaO_x ReRAMマイコンを実用化できた理由は、デバイス開発の観点から二つ挙げられる。一つ目は、メカニズムの理解である。硬X線光電子分光や電子ビーム吸収電流法で解析により，抵抗変化が局所的に酸化還元反応起こっていることを突き止めた。この観察結果をベースに、フィラメント位置を制御するプロセスを実現した。二つ目は、確立微分方程式を用いた信頼性モデルでリテンション予測が可能となり、商品の信頼性を確保できたことである。