2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.8 Plasma Electronics English Session

[13p-A41-3~8] 8.8 Plasma Electronics English Session

2016年9月13日(火) 14:45 〜 16:15 A41 (国際会議室)

佐々木 浩一(北大)

14:45 〜 15:00

▼ [13p-A41-3] Effect of Width and Number of Slits in Faraday Shield on the Performance of Inductively Coupled Plasma

〇(M1)Makato Moriyama1、Daisuke Ogawa1、Ivan Ganachev1,2、Keiji Nakamura1 (1.Chubu Univ.、2.Shibaura Mechatronics)

キーワード：Plasma Processing, Inductively coupled plasma