[13p-B13-1~12] 13.5 デバイス／集積化技術

[13p-B13-2] EOTスケーリング及び量子井戸によるInGaAs TFETの性能向上

〇安 大煥^1,2、竹中 充^1,2、高木 信一^1,2 (1.東大院工、2.JST CREST)

キーワード：トンネルFET、InGaAs、量子井戸