[13p-P7-1~17] 6.4 薄膜新材料

[13p-P7-3] VHFプラズマを用いた可視光応答性光触媒NbON薄膜合成

〇村瀬 英昭¹、宮部 美紗¹、永井 久雄¹、菊地 諒介¹、中村 透¹、羽藤 一仁¹ (1.パナソニック株式会社)

キーワード：光触媒、プラズマ、窒化

太陽光エネルギーによる水の全分解実現を目標に可視光応答可能な光触媒の開発が盛んに行われている。我々はこれまで反応性スパッタリング法を用いてn型半導体である酸窒化ニオブ（NbON）の単相薄膜合成を実現し、可視光下において光触媒活性があることを見出してきた。本研究では、新たに大気圧近傍の圧力下におけるVHFプラズマ窒化法を適用して、ニオブ酸化物（Nb₂O₅）からNbONの合成を実現できた。