[14a-A23-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

△ [14a-A23-6] HfO₂基強誘電体の結晶構造と特性の熱処理温度依存性

〇三村 和仙¹、清水 荘雄²、内田 寛³、木口 賢紀⁴、赤間 章裕⁴、今野 豊彦⁴、坂田 修身⁵、舟窪 浩^1,2,6 (1.東工大総理工、2.東工大元素、3.上智大理工、4.東北大金研、5.NIMS、6.東工大物院)

キーワード：HfO2、強誘電体薄膜