2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14p-A31-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2016年9月14日(水) 13:30 〜 17:45 A31 (302A)

吉松 公平(東工大)、村岡 祐治(岡山大)

14:30 〜 14:45

[14p-A31-5] 反応性スパッタ法によるTiO2薄膜の結晶構造制御 (2);
Nb, Nドープによるアナターゼの選択成長

西山 碩芳1、賈 軍軍1、中村 新一1、岡島 敏浩2、伊村 正明3、金井 敏正3、重里 有三1 (1.青学大理工、2.九州シンクロトロン光研究センター、3.日本電気硝子)

キーワード:酸化チタン