[15a-A22-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-A22-6] 低温スパッタによる低抵抗ITO膜の開発

〇大野 幸亮¹、白井 雅紀¹、小林 大士¹、高橋 明久¹、石橋 暁¹ (1.株式会社アルバック)

キーワード：低温スパッタ、ITO、低抵抗

近年スマートフォンなどに使用されるタッチセンサーでは静電容量方式が主流で、ディスプレイにタッチ機能を搭載するOn-CellやIn-Cellと呼ばれるデバイス構造が採用されている。これらはカラーフィルタとTFTを貼り合せるために接着剤が使用されており、センサー形成時の成膜温度に制約があり、低温プロセスで良質膜を得ることがキーとなる。著者らは成膜時の基板温度を室温以下とすることでITO膜の電気特性を改善することに成功した。