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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15a-A23-1~10] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2016年9月15日(木) 09:00 〜 11:45 A23 (201B)

沓掛健太朗(東北大)、河合宏樹(東芝)

10:30 〜 10:45

[15a-A23-6] Siウェーハの超高温RTPにおける温度シミュレーション

〇青木竜彦¹、須藤治生¹、荒木浩司¹、泉妻宏治¹ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：急速昇降温熱処理、温度シミュレーション