[15a-B10-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15a-B10-12] 簡便な方法によるチタン膜の破壊強度評価

〇石塚 典男¹、佐久間 憲之¹ (1.日立研開)

キーワード：MEMS、膜、強度