[15a-B10-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15a-B10-11] 応力制御ができる高密度TiN薄膜の成膜技術

〇沼田 幸展¹、平松 大典¹、中野 賢明¹ (1.株式会社 アルバック)

キーワード：スパッタ、応力制御

TiN膜は一般的なスパッタ成膜技術で高密度化を狙うと、強い圧縮応力を持つ薄膜になる。本報ではスパッタ成膜技術を用いて、高密度なTiN薄膜を引張応力から圧縮応力まで比較的に簡易な方法で調整できる成膜技術を報告する。