[15a-B10-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [15a-B10-10] ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ構造評価

〇横川 凌¹、鈴木 貴博¹、鈴木 涼太¹、高橋 和也²、小森 克彦²、森本 保³、澤本 直美¹、小椋 厚志¹ (1.明治大理工、2.東京エレクトロン東北㈱、3.東京エレクトロン㈱)

キーワード：多結晶シリコン、ラマン分光法