[15a-B10-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [15a-B10-9] ラマン分光法を用いた多結晶シリコン薄膜成膜プロセス依存の評価

〇鈴木 貴博¹、横川 凌¹、高橋 和也²、小森 克彦²、森本 保³、澤本 直美¹、小椋 厚志¹ (1.明治大理工、2.東京エレクトロン東北(株)、3.東京エレクトロン(株))

キーワード：多結晶シリコン薄膜、ラマン分光法