[15a-B5-1~12] 12.1 作製・構造制御

[15a-B5-1] 静電塗布法を用いた有機薄膜成膜におけるノズル先端形状の影響

〇上田 裕之¹、竹内 啓太¹、菊池 昭彦^1,2 (1.上智大学理工、2.上智ナノテクセンター)

キーワード：有機低分子材料、ウェットプロセス、エレクトロスプレー法

静電塗布法における、液糸が複数に分裂するマルチジェット(MJ)モードを用いることで平坦性に優れた有機薄膜を成膜できることを過去に報告した。しかしこのMJモードは円筒状の金属ノズル端部に発生する複数の液糸の位置制御が困難であり、その不安定性の解決が課題であった。本研究では、ノズル先端に複数の突起を形成して電界集中により液糸の位置を固定し、より小さい粒子の噴霧と MJ モードの安定化を図った。