[15p-A22-1~17] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[15p-A22-13] Crystal orientation dependence of gas sensing properties of ZnO films

〇Yutaka Adachi¹, Isao Sakaguchi¹, Taku Suzuki¹, Noriko Saito¹ (1.NIMS)

Keywords:semiconductor gas sensor

本研究では、ZnO各結晶面のセンサ特性に関する知見を得るために、ZnOのc(+)面、c(-)面、a面、m面が最表面になったエピタキシャル薄膜を作製し、そのガスセンサ特性の評価を試みた。その結果、c(-)面が最もエタノールガスに対して高感度であることがわかった。