[15p-A23-1~20] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15p-A23-12] シリコン結晶中の炭素濃度測定の感度と規格適用濃度と検出下限

〇井上 直久^2,1 (1.東京農工大、2.大阪府大)

キーワード：シリコン結晶、炭素不純物濃度測定、赤外吸収

不純物濃度測定の課題は常に感度と精度である。赤外吸収は主にバルク単結晶の、SIMSはエピタキシャル薄膜の、放射化分析は原料多結晶の、それぞれ代表的な方法として使われている。技術開発における感度、測定法規格における推奨適用濃度範囲、検出下限について動向を検討する。