18:00 〜 18:15
[15p-B10-16] 表面活性化ボンディング法によるCu箔/Si接合の電気特性評価
キーワード:表面活性化ボンディング法、Cu箔、シリコン
半導体素子の特性向上には電極の厚膜化が不可欠である。我々は既にSAB法により作製したAl箔/Si接合を評価し、Al箔は金属電極として機能し得ることを見出した。本研究では比抵抗に優れ、電極として普及しているCuで厚膜電極実現可能性の検討を行った。
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年9月15日(木) 13:45 〜 18:30 B10 (展示控室1)
佐々木 実(豊田工大)
18:00 〜 18:15
キーワード:表面活性化ボンディング法、Cu箔、シリコン