[15p-B10-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [15p-B10-5] 赤外偏光イメージングによる立体形状識別

〇久保山 貴文¹、小川 新平²、藤澤 大介²、木股 雅章¹ (1.立命館大学、2.三菱電機株式会社)

キーワード：赤外線センサ、プラズモン、偏光イメージング

我々は、プラズモニクス・メタマテリアルを応用して、偏光を識別可能な非冷却赤外線センサの開発に取り組んできた。 赤外線センサは、熱分布によって物体を撮像する。よって、均一な温度分布を有する多面体の面を識別することは困難である。今回、非冷却赤外線カメラを用いた偏光イメージングにより、立体形状の識別を行ったので報告する。