[15p-B10-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15p-B10-9] ピエゾ抵抗角度・焦点距離センサを集積した焦点可変スキャナの製作

〇(D)中澤 謙太¹、佐々木 敬¹、古田 裕正²、神谷 二朗²、佐々木 秀記²、神谷 東志一²、羽根 一博¹ (1.東北大院工、2.パナソニックデバイスSUNX)

キーワード：焦点可変ミラー、スキャナ、ピエゾ抵抗センサ

焦点可変スキャナは焦点距離を変化させる焦点可変ミラーと光を偏向するスキャナを集積した光学素子である．焦点可変ミラーとスキャナを集積することで光学機器の小型化や高機能化が期待できる．焦点可変スキャナの駆動中に焦点距離を知ることは，応用上重要である．そこで我々は焦点可変スキャナに走査角度センサと焦点距離センサを集積することを提案し，設計と製作を行ったので報告する．