[15p-B3-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15p-B3-6] β-FeSi₂エピタキシャル膜での直接遷移エネルギーと電気特性の相関

〇飯沼 元輝¹、村社 尚紀¹、池田 修哉¹、扇 和也¹、寺井 慶和¹ (1.九工大情報工)

キーワード：半導体、シリサイド、電気特性