2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15p-B3-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2016年9月15日(木) 13:45 〜 16:45 B3 (展示控室3)

鵜殿 治彦(茨城大)、寺井 慶和(九工大)

15:00 〜 15:15

[15p-B3-6] β-FeSi2エピタキシャル膜での直接遷移エネルギーと電気特性の相関

飯沼 元輝1、村社 尚紀1、池田 修哉1、扇 和也1、寺井 慶和1 (1.九工大情報工)

キーワード:半導体、シリサイド、電気特性