[15p-B5-1~19] 7.2 電子ビーム応用

[15p-B5-6] 実時間波動場再構成法を用いた試料厚さの動的解析

〇(D)田村 孝弘¹、木村 吉秀¹、高井 義造¹ (1.阪大工)

キーワード：透過型電子顕微鏡、波動場再構成、その場観察

我々のグループではビデオレートで複素波動場を取得でき，さらに焦点位置の自動追尾と2回非点収差，コマ収差，3回非点収差の実時間補正が可能な実時間波動場再構成TEMシステムの開発をこれまでに行ってきた．今回は本システムを用いて詳細な試料構造情報を動的に取得することを目指し，カラム厚さ情報の取得を試みた結果について報告する．金薄膜の虚部像，実部像のコントラストを用いて解析を行った結果，試料厚さに対応したコントラストを得ることができた．