[15p-B9-1~17] 13.3 絶縁膜技術

[15p-B9-17] HfO₂/GeO₂/Geスタック構造におけるGeO脱離の調査

〇大竹 博義¹、上野 智雄¹、岩崎 好孝¹ (1.農工大院工)

キーワード：Ge、GeO₂、HfO₂

HfO₂/GeO₂/Ge構造において、熱処理によるGeO脱離の調査を行う。