[15p-P6-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[15p-P6-14] 誘導結合プラズマ支援RFスパッタリングによるZnO(N)薄膜への効果

〇石井 優輝¹、榊原 聖也¹、金子 哲也¹、沖村 邦雄¹、進藤 春雄¹、磯村 雅夫¹ (1.東海大院工)

キーワード：誘導結合プラズマ、酸化亜鉛