[15p-P6-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[15p-P6-4] プラズマを重畳した反応性パルススパッタリングによる窒化物薄膜の低温形成

〇竹中 弘祐¹、佐竹 義旦¹、内田 儀一郎¹、節原 裕一¹ (1.阪大接合研)

キーワード：窒化アルミニウム、反応性スパッタリング、プラズマ支援スパッタリング