[16a-A21-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16a-A21-8] TMG中の酸素濃度がGaNに与える影響

〇杉本 浩平^1,2、井本 良¹、岡田 成仁¹、只友 一行¹ (1.山口大学院・創成科学、2.宇部興産)

キーワード：窒化ガリウム、MOVPE