[16a-B1-1~13] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[16a-B1-11] リモートプラズマCVD SiO₂/GaN界面の光電子分光分析

〇グェン スァン チュン¹、大田 晃生¹、牧原 克典¹、池田 弥央¹、宮崎 誠一¹ (1.名大院工)

キーワード：SiO2/GaN 界面、リモートプラズマCVD