[16a-B10-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[16a-B10-11] 局所クリーン化ミニマルPLAD環境コントロールシステム

〇谷島 孝^1,2、安井 政治^1,2、クンプアン ソマワン^1,2、前川 仁^1,2、原 史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)

キーワード：ミニマルファブ

我々は、ミニマルファブの局所クリーン化搬送システムにおける前室システムの研究開発を行っている。Siデバイスの性能のゆらぎを抑えるためには、酸素を遮断した環境にウエハを置くことが重要である。そのために、前室内部に窒素を循環させるとともに、内部圧力をコントロールする、窒素循環パージシステムを構築することを目指すが、前段階として行った、クリーンエアを用いた実験で、前室内部を高精度に圧力制御することが出来た。