[16p-B1-1~13] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[16p-B1-4] GaN表面の熱酸化におけるキャップ層の効果

〇山田 高寛¹、渡邉 健太¹、野崎 幹人¹、細井 卓治¹、志村 考功¹、渡部 平司¹ (1.阪大院工)

キーワード：窒化ガリウム、パワーデバイス