[16p-B7-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[16p-B7-12] ニュートラル窒化処理装置の開発

〇半田 祥樹¹、アブラハ ペトロス¹ (1.名城大理工)

キーワード：ニュートラル窒化処理、プラズマ窒化処理