[16p-B7-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [16p-B7-6] マルチホロー放電プラズマ下流における電場とクラスター輸送の関係

〇小島 尚¹、都甲 将¹、毛屋 公孝¹、田中 和真¹、徐 鉉雄¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹ (1.九州大学)

キーワード：水素化アモルファスシリコン、太陽電池、クラスター