16:00 〜 18:00
〇久保山 貴文1、高川 陽輔1、小川 新平2、藤澤 大介2、木股 雅章1 (1.立命館大学、2.三菱電機株式会社)
久保山 貴文
発表者・著者、共著者
2016年3月21日(月) 16:00 〜 18:00 P17 (屋内運動場)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
16:00 〜 18:00
〇久保山 貴文1、高川 陽輔1、小川 新平2、藤澤 大介2、安井 慎一2、木股 雅章1 (1.立命館大学、2.三菱電機株式会社)