[21p-P17-1~26] 13.4 Si wafer processing /Si based thin film /MEMS/Integration technology

[21p-P17-13] Wavelength-selectivity for uncooled infrared sensors using plasmonic absorbers :suppression of undesired absorption modes

〇Takafumi Kuboyama¹, Yousuke Takagawa¹, Ogawa Shimpei², Fujisawa Daisuke², Kimata Masafumi¹ (1.Ritsumeikan Univ., 2.Mitsubishi Electric Corp.)

Keywords:infrared sensors,plasmon

周期構造をもったプラズモニック吸収体を非冷却赤外線センサの受光部に導入することで、波長検知が可能な波長選択型赤外線センサを開発した。波長選択型非冷却赤外線センサは、吸収体以外の不要な赤外線吸収が長波長域での課題であった。今回、不要な吸収の影響を除去することを目的として、差分動作を実現するセンサ構造を提案する。