15:30 〜 15:45 [21p-H103-9] H2O添加成膜したIn-Ga-O半導体薄膜の特性 〇西村 英一郎1、森本 敏夫1、中山 徳行1、松村 文彦1、白木 真菜1、清水 耕作2、大野 祐樹2、田中 聡2 (1.住友金属鉱山株式会社、2.日本大学)