16:00 〜 18:00
〇上村 和貴1、中家 大希1、荒井 哲司1、山本 千綾1、有元 圭介1、山中 淳二1、中川 清和1、高松 利行2 (1.山梨大、2.株式会社SST)
上村 和貴
発表者・著者、共著者
2016年3月21日(月) 16:00 〜 18:00 P17 (屋内運動場)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月21日(月) 16:00 〜 18:00 P17 (屋内運動場)
16:00 〜 18:00
〇上村 和貴1、中家 大希1、荒井 哲司1、山本 千綾1、有元 圭介1、山中 淳二1、中川 清和1、高松 利行2 (1.山梨大、2.株式会社SST)