09:45 〜 10:00 △ [21a-S222-4] 高品質α-Ga2O3に向けたα-(AlxGa1-x)2O3超格子バッファ層の作製と結晶構造評価 〇神野 莉衣奈1、内田 貴之1、金子 健太郎1、藤田 静雄1 (1.京大院工)